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渦輪分子泵系統(tǒng)操作注意事項(xiàng)及常見故障排除
  • 發(fā)布日期:2022-10-25      瀏覽次數(shù):2401
    • 渦輪分子泵系統(tǒng)操作注意事項(xiàng)及常見故障排除 

      檢碩科學(xué)器材(上海)有限公司

      渦輪分子泵系統(tǒng)的操作注意事項(xiàng)

      (1) 不能在前級(jí)泵工作時(shí)(前級(jí)管道接通) 和真空室處于真空狀態(tài)時(shí)將渦輪分子泵停掉,否則將會(huì)使油蒸汽迅速?gòu)那凹?jí)管路返流到泵的清潔端。

      (2) 分子泵系統(tǒng)在停機(jī)充干燥氣體前,一定要先將分子泵冷卻水關(guān)閉,且要從泵的高真空端充氣。決不能從泵的前級(jí)管路進(jìn)行充氣。

      (3)選擇抽氣系統(tǒng)前級(jí)泵的大小時(shí),應(yīng)使渦輪分子泵的前級(jí)保持在分子流狀態(tài)下。

      (4)不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運(yùn)轉(zhuǎn)。

      (5)分子泵入口應(yīng)裝設(shè)防護(hù)網(wǎng),以避免異物進(jìn)入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。

      渦輪分子泵系統(tǒng)常見故障及排除

      渦輪分子泵抽氣系統(tǒng)的常見故障及排除方法

       

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